備注：紅色方框中第6組為平行平晶常用規(guī)格，其他第1-5組需要定做；
2、測量準確度：按JJG28-2019標準；
1）測量面平行度偏差：
組1系列（0-25mm）允許誤差值：0.6μm
組2系列（25-50mm）允許誤差值：0.6μm
組3系列（50-75mm）允許誤差值：0.8μm
組3系列（75-100mm）允許誤差值：1.0μm
2）每組平行平晶共4塊，分四個尺寸系列組，四組共計16塊；
3）測量面上平面度偏差：＜0.1μm
4）平面度局部偏差：大于0.03μm
5) 檢驗標準 （GB 903 無色光學玻璃）
6）平晶必須放置在(20士5)℃和濕度不大于80 % RH的檢定室內(nèi)進行等溫，等溫時間不少于8小時；
